纳米技术与精密工程杂志CSCD期刊统计源期刊

纳米技术与精密工程 2014年第05期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志纳米技术

基于AFM氮化硅探针刻蚀方法制作聚碳酸酯纳米光栅第320-327页

关键词: 原子力显微镜；  微纳加工；  机械加工性；  纳米光栅；  

原子层沉积技术及其创新运用第328-333页

关键词: 原子层沉积；  等离子体增强型原子层沉积；  原位掺杂；  

纳米技术与精密工程杂志微机电系统

新型双向加载MEMS微执行器动力学分析第334-339页

关键词: mems；  微驱动器；  信号采集；  

不同形状Janus颗粒自驱动特性数值模拟第340-345页

关键词: janus颗粒；  自驱动；  形状影响；  扩散泳力；  

基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法第346-350页

关键词: mems；  平面弹簧；  微小载荷；  刚度标定；  测量精度；  

纳米技术与精密工程杂志精密加工

光学元件离子束修形去除效率分析第351-357页

关键词: 离子束修形；  去除效率；  入射能量；  离子光学系统；  

圆柱表面微结构阵列超精密车削加工技术第358-364页

关键词: 辊子；  微结构阵列；  超精密车削；  快刀伺服系统；  

纳米技术与精密工程杂志精密测量

薄壁小管径微管生物传感器特性第386-390页

关键词: 光学微腔；  微管生物传感器；  回音壁模式；  倏逝场；  品质因数；