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纳米技术与精密工程杂志

纳米技术与精密工程杂志CSCD期刊统计源期刊

主管单位:Ministry of Education of the People’s Republic of China  主办单位:Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology

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纳米技术与精密工程 2013年第06期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志精密加工
滚压印圆柱母光栅的微刻划制造第473-478页
关键词: 微纳制造;  纳米压印;  微刻划;  母光栅;  
小口径非球面的超精密车削和抛光组合加工第479-484页
关键词: 小口径非球面;  磁流变抛光;  超精密车削;  组合加工;  
金刚石刀具单点切削单晶硅加工表面特性第485-491页
关键词: 超精密切削;  单晶硅;  拉曼光谱;  相变;  残余应力;  
纳米技术与精密工程杂志微机电系统
一种谐振式MEMS压力传感器单芯片级真空封装和低应力组装方法第492-496页
关键词: mems;  谐振式压力传感器;  真空封装;  低应力组装;  黏合键合;  
新型聚四氟乙烯体材料双面驻极结构振动能量收集器第497-502页
关键词: 振动能量收集器;  静电式;  体材料驻极体;  双面电晕驻极;  
MEMS陀螺六阶连续带通多反馈∑△M闭环控制系统第503-510页
关键词: mems;  陀螺;  遗传算法;  噪声整形;  
纳米技术与精密工程杂志纳米技术
绿色纳米技术:利用纳米结构材料光催化降解水中的持久性有机污染物第511-517页
关键词: 持久性有机污染物;  光催化降解;  纳米结构材料;  二氧化钛;  
纳米金刚石掺混对碳纳米管薄膜场发射性能的影响第518-523页
关键词: 场发射;  均匀性;  稳定性;  丝网印刷;  
Pd纳米粒子对BiOBr的光吸收和光催化性能的影响第524-528页
关键词: pd纳米粒子;  biobr;  光催化;  
纳米技术与精密工程杂志精密测量
基于双电层电容的微细电解加工间隙的在线检测第529-535页
关键词: 微细电解加工;  加工间隙;  在线检测;  双电层;  流动电势;  
基于单幅扫描电镜图像的三维重建技术第541-545页
关键词: 三维重建;  微机电系统;  扫描电子显微镜;  黑硅表面;  
表面计量中高斯滤波器的一种高精度实现算法第546-550页
关键词: 表面计量;  高斯滤波器;  二阶巴特沃思滤波器;  边缘效应;  
机抖激光陀螺稳频控制技术第551-556页
关键词: 激光陀螺;  腔长控制;  稳频;  
基于最大方差旋转的因子分析算法第557-561页
关键词: 因子分析;  因子旋转;  最大方差;  独立分量分析;  峭度;  
一种新型位移与角度同时测量系统的设计第562-566页
关键词: 阿贝偏角;  同时测量;  干涉条纹;