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纳米技术与精密工程杂志

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主管单位:Ministry of Education of the People’s Republic of China  主办单位:Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology

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纳米技术与精密工程 2011年第05期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志特邀论文
支撑光学制造的几何量计量技术第377-391页
关键词: 几何量计量;  光学计量;  原子力显微镜;  面形计量;  微纳技术;  差分型激光束偏转;  可溯源多路传感器;  
纳米技术与精密工程杂志纳米技术
利用水溶性纳米线制备微纳流体系统第392-396页
关键词: 微纳流体;  纳米线;  pdms;  
纳米多孔光波导漏模共振传感器的折射率灵敏度分析第397-401页
关键词: 纳米多孔;  漏模共振;  折射率灵敏度;  
一种金属纳米微粉制备装置的设计及实验第402-407页
关键词: 自悬浮定向流;  装置;  金属纳米微粉;  粒径;  原位封装;  
水热法一步合成纳米/微米级ZnO球第408-411页
关键词: 水热法;  zno;  扫描电子显微镜;  
纳米技术与精密工程杂志微机电系统
新型摇摆质量微陀螺的设计与制作第412-416页
关键词: 摇摆质量陀螺;  微陀螺;  体微加工;  各向异性湿法腐蚀;  
基于分子印迹技术的尿素仿生微传感器第417-421页
关键词: 分子印迹;  计时电流法;  微电极;  电化学聚合;  
基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作第422-426页
关键词: 神经工程;  mems;  parylene;  微电极阵列;  
压电厚膜驱动的高刚度微变形镜的制备第427-431页
关键词: 微变形镜;  压电厚膜;  高刚度;  
自呼吸式微型直接甲醇燃料电池的设计与性能分析第432-435页
关键词: 自呼吸;  直接甲醇燃料电池;  极板;  最高功率密度;  
纳米技术与精密工程杂志精密加工
基于准分子激光微加工的光热微驱动器第436-439页
关键词: 光热微驱动器;  微加工;  微驱动;  动态特性;  激光;  
基于电子束曝光的微区加热技术第440-445页
关键词: 电子束;  微区加热;  吸收能量密度;  剂量;  表面改性;  
一种避免静电黏附失效的低应力阳极键合技术第446-450页
关键词: mems;  微机械加工;  阳极键合;  吸合电压;  
CVD金刚石膜高效超精密抛光技术第451-458页
关键词: cvd金刚石膜;  化学机械抛光;  固结磨料;  机械抛光;  
纳米技术与精密工程杂志精密测量
激光内径测量系统参数校正及算法优化第459-463页
关键词: 激光三角扫描;  倾斜校正;  偏心误差;  最小平方中值;  最小二乘法;