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纳米技术与精密工程杂志

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主管单位:Ministry of Education of the People’s Republic of China  主办单位:Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology

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纳米技术与精密工程 2011年第04期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志精密测量
表面计量中触针式仪器的若干进展第283-290页
关键词: 表面计量;  集成阻尼;  随机表面;  
单振子二自由度球面马达的运动机理第291-297页
关键词: 二自由度;  压电振子;  有限元法;  球面超声马达;  瞬态分析;  
基于改进随机Hough变换的快速中心检测方法第298-304页
关键词: 机器视觉;  芯片焊盘;  中心检测;  随机hough变换;  最小二乘法;  
纳米技术与精密工程杂志纳米技术
H型亚微米梁的混频特性测量第305-309页
关键词: h型亚微米梁;  混频特性;  窗口效应;  静电激励;  
测试介质对纳米CeO_2改性SPEEK膜质子电导率的影响第310-315页
关键词: 磺化聚醚醚酮;  氧化铈;  测试介质;  质子电导率;  
硅应力非均匀氧化影响因素及其在纳米孔制作中的应用第316-321页
关键词: 硅;  应力;  非均匀氧化;  纳米孔;  
TiO_2/ZnO纳米管的制备及其光催化性能第322-328页
关键词: 阳极氧化;  毛细组装技术;  光催化;  氯胺磷;  
纳米技术与精密工程杂志微机电系统
塑料微流控芯片的注塑成型第329-334页
关键词: 微通道;  微流控芯片;  注塑成型;  计算机模拟;  复制度;  
微机械陀螺结构的稳健优化设计第335-339页
关键词: 微机械陀螺;  稳健设计;  容差分析;  最坏情况容差;  
基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器第340-344页
关键词: 微机电系统;  pzt薄膜;  面内极化;  压电微传声器;  
基于局部溶解性激活的聚合物微流控芯片超声波键合第345-349页
关键词: 微流控芯片;  超声波键合;  导能筋;  
纳米技术与精密工程杂志精密加工
切削液对光学玻璃SF6在金刚石切削加工中可加工性的影响第350-356页
关键词: 精密工程;  金刚石切削;  光学玻璃;  可加工性;  切削液;  
集成工艺中湿法刻蚀对锆钛酸铅性能的影响第357-363页
关键词: 锆钛酸铅;  湿法刻蚀;  性能退化;  尺寸;  刻蚀损伤;  
聚合物光波导端面磁流变抛光工艺第364-369页
关键词: 聚合物光波导;  端面抛光;  表面粗糙度;  插入损耗;  
纳秒脉冲激光对316L不锈钢微抛光效果的影响第370-376页
关键词: 激光微抛光;  纳秒脉冲激光;  不锈钢;  激光能量密度;  离焦距离;