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纳米技术与精密工程杂志

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主管单位:Ministry of Education of the People’s Republic of China  主办单位:Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology

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纳米技术与精密工程 2011年第03期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志微机电系统
离体电生理检测微电极阵列传感器的设计与制备第189-193页
关键词: 微电极阵列;  离体组织;  电生理;  mems;  
提高莫尔条纹正切法细分精度的改进算法第194-198页
关键词: 莫尔条纹;  正切法;  细分精度;  算法;  
MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试第199-202页
关键词: mems传感器;  三维微力;  探针;  性能测试;  
基于FPGA的硅微机械谐振式陀螺仪数据采集系统设计第203-206页
关键词: 最大频偏;  相差检测;  
具有栅结构与静电梳齿驱动的电容式微机械陀螺的仿真、设计与测试第207-211页
关键词: 电容式微机械陀螺;  栅结构;  仿真与设计;  
纳米技术与精密工程杂志精密测量
一种微小物体精密定位的直线微工作台第221-227页
关键词: 直线微工作台;  平滑冲击驱动;  压电元件;  磁铁;  精密定位;  大行程;  
基于数字锁相解复用的多通道近红外光并行检测技术第228-233页
关键词: 数字锁相检测;  单光子计数;  频分复用技术;  近红外光检测;  
外置式DBS的体外控制电路第234-238页
关键词: 脉冲发生电路;  体外控制电路;  高频载波;  
基于声表面波传感技术的微液滴检测方法第239-243页
关键词: 声表面波;  微液滴;  体积;  差分面积法;  
基于微分几何方法的磁悬浮微动平台的非线性控制第244-248页
关键词: 磁悬浮;  微动平台;  微分几何;  非线性控制;  
纳米坐标测量机的三维接触式测头机构第249-252页
关键词: 坐标测量机测头;  布拉格光纤光栅传感器;  
纳米技术与精密工程杂志纳米技术
电场作用下扶手椅型石墨烯纳米带的第一原理计算第253-255页
关键词: 密度泛函理论;  第一原理;  电场;  
SiO_2层上沉积的纳米多晶硅薄膜及其特性第256-259页
关键词: 纳米多晶硅薄膜;  迁移率;  
二次纳米自组装法制备Ni-Mo/TiO_2-Al_2O_3催化剂第260-264页
关键词: 纳米自组装;  超增溶;  氧化铝;  二氧化钛;  
纳米技术与精密工程杂志精密加工
微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现第265-269页
关键词: 微静电陀螺;  体硅工艺;  铝牺牲层;  静电键合;