纳米技术与精密工程杂志CSCD期刊统计源期刊

纳米技术与精密工程 2011年第01期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志纳米技术

收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试第1-5页

关键词: 微电源；  压电悬臂梁；  mems；  pzt；  

超疏水Ti6Al4V表面的制备及其润湿性第6-10页

关键词: 钛合金；  激光加工；  自组装分子膜；  超疏水；  

基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性第11-15页

关键词: 多晶硅；  纳米薄膜；  电学修正；  电流致重结晶；  薄膜厚度；  

纳米技术与精密工程杂志微机电系统

桥式射频MEMS开关上电极薄膜的残余应力改进模型第16-20页

关键词: mems开关；  两端固支梁；  薄膜；  残余应力；  

带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计第21-25页

关键词: 微加速度计；  光栅；  干涉；  力反馈；  三明治；  

基于MEMS的分散式低阶AHPRS系统设计第26-32页

关键词: 误差四元数；  姿态估计；  卡尔曼滤波；  

面向微量试剂分配的压电叠堆泵第33-38页

关键词: 微量试剂分配；  压电驱动；  压电叠堆泵；  

基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征第39-43页

关键词: 白光相移干涉；  标准台阶；  

纳米技术与精密工程杂志精密测量

基于SVM的多生物特征融合识别算法第44-47页

关键词: 多生物特征；  身份识别；  信息融合；  支持向量机；  手背静脉；  虹膜；  

多光程长测量高散射物质浓度第48-52页

关键词: 多光程长；  定量分析；  nir；  偏最小二乘法；  

趋势预测1/8周期快速寻北法第53-57页

关键词: 陀螺经纬仪；  趋势预测；  曲线拟合；  

PI参数自动寻优控制器设计第58-64页

关键词: 比例积分；  参数寻优；  优化算法；  原子力显微镜；  控制器；  

三维Laguerre模型的外存式增量算法及可视化技术第65-72页

关键词: 外存式增量算法；  laguerre模型；  微观组织结构；  仿真；  

基于钽酸锂晶体薄片的红外探测器设计及应用第73-77页

关键词: 钽酸锂；  晶体薄片；  红外吸收；  气体传感器；  

纳米技术与精密工程杂志精密加工

基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺第78-82页

关键词: 干法刻蚀；  mems；