纳米技术与精密工程杂志CSCD期刊统计源期刊

纳米技术与精密工程 2010年第04期杂志 文档列表

多壁碳纳米管湿度传感器频率特性(英文)第-页

关键词: 湿度传感器；  频率特性；  毛细凝聚现象；  介电常数；  

MEMS三维微触觉力传感器标定方法第-页

关键词: 三维微触觉力传感器；  标定；  悬臂梁；  误差补偿；  

新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器第-页

关键词: 静电场测试；  电场传感器；  谐振器；  静电激励；  

淬硬轴承钢平面磨削变质层的特性第-页

关键词: 淬硬轴承钢；  平面磨削；  变质层；  微观结构；  

硅基电泳芯片非接触电导检测器第-页

关键词: 侧壁立体电极；  非接触电导检测；  硅基电泳芯片；  无机阳离子；  

硅微陀螺仪闭环校正控制系统设计第-页

关键词: 硅微陀螺仪；  闭环校正控制；  负刚度效应；  相角裕度；  幅值裕度；  

模板匹配算法在高精度压电微位移测量中的应用第-页

关键词: 微位移测量；  模板匹配算法；  归一化转动惯量；  测量精度；  

小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文)第-页

关键词: 图形发生器；  纳米结构；  

球形纳米银粒子制备新方法及其表征第-页

关键词: 纳米银粒子；  水热法；  制备；  热分解；  

具有“荷叶效应”的硅基仿生表面的制备及其微摩擦性能第-页

关键词: 荷叶效应；  微摩擦；  

纳秒脉冲激光照射对多壁碳纳米管薄膜形貌的影响第-页

关键词: 纳秒脉冲激光；  照射；  carbon；  nanotube；  microscope；  形貌；  

有序蘑菇状负载型纳米TiO_2光催化剂制备第-页

关键词: 有序的；  纳米蘑菇状载体；  tio2光催化剂；  

溶剂型涂料用纳米CaCO_3的表面改性及表征第-页

关键词: 纳米caco3；  表面改性；  改性剂；  溶剂型涂料；  

环形蠕动微泵的优化仿真和实验第-页

关键词: 微流体；  微泵；  环形蠕动泵；  泄漏；  

采用防Footing效应工艺加工的SOI微加速度计第-页

关键词: 微加速度计；  横向刻蚀；  保护电极；