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纳米技术与精密工程杂志

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主管单位:Ministry of Education of the People’s Republic of China  主办单位:Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology

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纳米技术与精密工程 2010年第02期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志精密测量
用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器第95-101页
关键词: 气体传感器;  聚合物;  挥发性有机化合物;  微悬臂梁;  谐振器;  
用于功能性电刺激精密控制的BP神经网络整定PID算法第102-106页
关键词: 功能性电刺激;  bp神经网络;  比例微积分;  反馈控制;  康复训练;  
纳米三坐标测量机接触式测头预行程测量第107-113页
关键词: 纳米三坐标测量机;  接触式测头;  单方向重复性;  预行程;  二次触发;  
近红外无创血糖测量中径向基准位置的模拟及验证第114-119页
关键词: 径向基准位置;  蒙特卡罗模拟;  光学参数;  漫反射光能量;  无创血糖检测;  
基于互相关分析的激光自准直小角度测量技术第120-125页
关键词: 互相关分析;  小角度测量;  激光自准直;  调制;  
室温准连续多量子阱二极管激光器调谐特性第126-131页
关键词: 可调谐二极管激光器;  调谐特性;  准连续波;  多量子阱二极管激光器;  
基于GGBP蛋白绑定的表面等离子共振葡萄糖浓度测量第132-136页
关键词: 表面等离子共振;  葡萄糖浓度测量;  组织液;  微创;  
纳米技术与精密工程杂志精密加工
基于面域功率谱密度的金刚石车削相对振动辨识第137-142页
关键词: 金刚石车削;  表面形貌;  二维快速傅里叶变换;  面域功率谱密度;  振动辨识;  
微电铸层内应力超声去除实验第143-148页
关键词: 应力超声去除;  ni微电铸层;  内应力;  x射线衍射;  
新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验第149-155页
关键词: 深反应离子刻蚀;  锯齿流道;  压电微泵;  性能;  效率;  
纳米技术与精密工程杂志纳米技术
介孔硅基WO3纳米颗粒薄膜室温气敏元件特性第156-160页
关键词: 介孔硅;  wo3;  纳米颗粒薄膜;  室温;  气敏特性;  
聚乙二醇法在温和条件下制备不同结构的磁性Fe3O4纳米晶第161-166页
关键词: fe3o4纳米晶;  聚乙二醇;  颗粒尺寸;  结晶度和磁性;  
Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用第167-170页
关键词: notching效应;  干法释放;  绝缘体上硅;  微机电系统;  
纳米技术与精密工程杂志微机电系统
静电排斥驱动六边形MEMS微镜第171-176页
关键词: 微机电系统;  微镜;  静电驱动器;  表面微加工;  
低噪声电容式MEMS加速度计接口专用集成电路设计第177-182页
关键词: 加速度计;  闭环;  电荷积分器;  低噪声;