纳米技术与精密工程杂志CSCD期刊统计源期刊

纳米技术与精密工程 2008年第01期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志纳米技术

超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量第1-4页

关键词: 双端固支硅纳米梁；  感生电动势检测；  谐振特性；  静电驱动；  

铝纳米梁的电学特性测试第5-8页

关键词: 纳米梁；  电学特性；  弹性形变；  扫描次数；  

TiO2／海泡石催化剂的光催化降解性能第9-13页

关键词: 二氧化钛；  海泡石；  负载；  光催化；  邻苯二甲酸二乙酯；  

雌黄纳米粒对K562细胞的体外治疗作用及其机制第14-19页

关键词: 雌黄；  纳米粒；  k562细胞；  抗肿瘤；  机制；  

基于近场静电纺丝的微／纳米结构直写技术第20-23页

关键词: 近场静电纺丝；  直写技术；  

纳米技术与精密工程杂志微机电系统

微致动器用于翼面流场主动控制规律研究第24-28页

关键词: 主动流动控制；  气泡型微致动器；  微型合成射流器；  

巨磁致伸缩薄膜-衬底悬臂梁系统的力学特性第29-33页

关键词: 巨磁致伸缩材料；  应力与应变分析；  力学；  

基于介质上电润湿的透射式显示器件第34-37页

关键词: 介质上电润湿；  显示；  透射式显示；  

抗干涉齿轮集机构的循环着色优化编码方法第38-43页

关键词: 微机电系统；  密码鉴别器；  锁机构；  抗干涉齿轮集机构；  编码；  

纳米技术与精密工程杂志精密测量

时间相移显微干涉术用于微机电系统的尺寸表征第44-49页

关键词: 纳米计量；  微机电系统；  相移干涉术；  hariharan算法；  台阶标准；  

多晶硅薄膜热应力的在线提取方法第50-53页

关键词: 热应力；  多晶硅薄膜；  在线提取；  吸合；  

光电脉搏波信号处理中呼吸干扰的抑制第54-58页

关键词: 动态光谱；  光电容积脉搏波；  相干平均；  呼吸干扰；  

纳米技术与精密工程杂志精密加工

PZT厚膜的气雾化湿法减薄制备技术第59-63页

关键词: pzt；  厚膜；  气雾化湿法减薄；  平均刻蚀速率；  

PZT薄膜的MOCVD制备技术第64-67页

关键词: 压电；  铁电；  

（100）面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式第68-71页

关键词: 湿法腐蚀；  凸角补偿；  各向异性腐蚀；